Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им.&nbsp;А.Ф.&nbsp;Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия * Институт химии силикатов им.&nbsp;И.В.&nbsp;Гребенщикова Российской академии наук, 199155 Санкт-Петербург, Россия E-mail: igor@ ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Анализ структуры композитных металл-диэлектрических материалов методом малоуглового рентгеновского рассеяния

Рожанский И.В., Закгейм Д.А., Василевская Т.Н., Гуревич С.А.

Рожанский И.В., Закгейм Д.А., Василевская Т.Н., Гуревич С.А. Анализ структуры композитных металл-диэлектрических материалов методом малоуглового рентгеновского рассеяния // ФТТ, 2001, том 43, выпуск 5, Стр. 892

Аннотация Методом малоуглового рентгеновского рассеяния исследовалась структура композитных пленок Cu : SiO2, полученных с использованием технологии одновременного магнетронного напыления. Экспериментальные спектры анализируются на основе прямого численного моделирования рассеяния на полидисперсной системе сферических частиц с высокой объемной концентрацией. В предположении "log-нормального" распределения частиц по размерам получено хорошее совпадение расчетных спектров рассеяния с экспериментальными и определены параметры этого распределения. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант N 98-02-18210) и программой "Физика твердотельных наноструктур" МН РФ (гранты N  97-2014 и 97-1035).