Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияСумский государственный университет, 40007 Сумы, Украина * Сумский государственный аграрный университет, 40021 Сумы, Украина E-mail: kpe@ssu.sumy.ua ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Образование островковых структур приосаждении слабопересыщенных паров алюминия

Перекрестов В.И., Коропов А.В., Кравченко С.Н.

Перекрестов В.И., Коропов А.В., Кравченко С.Н. Образование островковых структур приосаждении слабопересыщенных паров алюминия // ФТТ, 2002, том 44, выпуск 6, Стр. 1131

Аннотация Методом просвечивающей и растровой электронной микроскопии, а также микродифракции электронов изучено образование островковых структур при осаждении слабопересыщенных паров Al. Получение слоев производилось методом магнетронного распыления на постоянном токе в среде высокоочищенного Ar. Установлены условия образования статистически однородных слоев нанокристаллов в зависимости от температуры осаждения, парциальных давлений Ar и химически активных газов. Получены соотношения, на основании которых проведены расчеты краевого контактного угла островков с подложкой в зависимости от температуры конденсации. Работа выполенена при финансировании Министерства образования и науки Украины (проект N 84.02.04.00-02).