Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2003-00-00 ОрганизацияИнститут физики твердого тела Российской академии наук, 142432 Черноголовка, Московская обл., Россия ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Дислокационная фотолюминесценция вкристаллах кремния сразличным примесным составом

Шевченко С.А., Изотов А.Н.

Шевченко С.А., Изотов А.Н. Дислокационная фотолюминесценция вкристаллах кремния сразличным примесным составом // ФТТ, 2003, том 45, выпуск 2, Стр. 248

Аннотация В кристаллах кремния с различным примесным составом, деформированных пластически при температурах выше 1000oC, определена специфика влияния кислорода на спектры дислокационной фотолюминесценции (ДФЛ) при 4.2 K. Обнаружено сильное влияние типа легирующей примеси на спектры ДФЛ при концентрациях выше 1016 cm-3. Показано, что особенности многих спектров ДФЛ в кремнии могут быть объяснены в предположении, что линии D1 и D2 связаны с дислокационными ступеньками краевого типа на скользящих дислокациях. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 00-15-96703 и 02-02-17024).