Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2003-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия E-mail: kompan@solid.ioffe.rssi.ru ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Механизм первичной самоорганизации регулярной структуры пористого кремния

Компан М.Е.

Компан М.Е. Механизм первичной самоорганизации регулярной структуры пористого кремния // ФТТ, 2003, том 45, выпуск 5, Стр. 902

Аннотация Предложен механизм самоформирования регулярной системы пор в пористом кремнии. В соответствии с предложенным механизмом процесс самоформирования основан на общих законах кинетики системы носителей заряда. На основе предложенного механизма сделана оценка для среднего расстояния между порами пористого кремния, получаемого из кремния p-типа, и для плотности тока анодизации, необходимого для получения пористого кремния при анодном травлении. Полученные величины находятся в хорошем согласии с величинами, известными из эксперимента. Предсказана зависимость среднего расстояния между порами от концентрации носителей в исходном кремнии, близкая к L(n)~ n-1/2. Действенность предложенного механизма подтверждена результатами компьютерного моделирования.