Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2003-00-00 ОрганизацияСанкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет), 198013 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Диэлектрические многослойные наноструктуры оксидов тантала иалюминия

Ежовский Ю.К., Клусевич А.И.

Ежовский Ю.К., Клусевич А.И. Диэлектрические многослойные наноструктуры оксидов тантала иалюминия // ФТТ, 2003, том 45, выпуск 11, Стр. 2099

Аннотация Представлены экспериментальные результаты изучения процесса формирования и некоторых диэлектрических характеристик многослойных наноструктур, полученных на основе оксидов тантала и алюминия методом молекулярного наслаивания. Показано, что диэлектрическая проницаемость таких структур практически линейно зависит от состава композиции, а их проводимость --- от соотношения толщин каждого слоя, причем при di,j