Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2005-00-00 ОрганизацияНациональный технический университет &#92;glqq Харьковский политехнический институт&#92;grqq, 61002 Харьков, Украина E-mail: puch@kpi.kharkov.ua ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Зависимость коэффициента конденсации висмута отэнергии частиц, осаждаемых из ионного пучка накремниевые подложки

Пуха В.Е., Михайлов И.Ф., Дроздов А.Н., Фомина Л.П.

Пуха В.Е., Михайлов И.Ф., Дроздов А.Н., Фомина Л.П. Зависимость коэффициента конденсации висмута отэнергии частиц, осаждаемых из ионного пучка накремниевые подложки // ФТТ, 2005, том 47, выпуск 3, Стр. 572

Аннотация Экспериментально изучена зависимость коэффициента конденсации висмута от энергии частиц, осаждаемых из ионного пучка на кремниевые подложки. Обнаружены резкое увеличение коэффициента конденсации при подаче ускоряющего потенциала на подложку в диапазоне от 0 до 10 V и монотонное его снижение при величине потенциала свыше 60 V. Критическая температура конденсации при осаждении из ионного пучка на 100 градусов выше, чем из потока пара. Работа выполнена в рамках бюджетной научно-исследовательской программы Украины по теме М5462 \glqq Фуллереновые композиции, формирующиеся из потоков частиц компонентов повышенной энергии\grqq.