Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2006-00-00 ОрганизацияМосковская государственная академия приборостроения и&nbsp;информатики, 107076 Москва, Россия * Институт физики твердого тела Российской академии наук, 142432 Черноголовка, Московская обл., Россия E-mail: aristova@issp.ac.ru ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Диффузионные параметры азота вионно-имплантированных монокристаллах вольфрама

Боднарь О.Б., Аристова И.М., Мазилкин А.А., Пронина Л.Н., Чайка А.Н., Попов П.Ю.

Боднарь О.Б., Аристова И.М., Мазилкин А.А., Пронина Л.Н., Чайка А.Н., Попов П.Ю. Диффузионные параметры азота вионно-имплантированных монокристаллах вольфрама // ФТТ, 2006, том 48, выпуск 1, Стр. 12

Аннотация Исследована диффузия азота, имплантированного в монокристаллический вольфрам в температурном интервале 700-820oC. В основу измерений положен разработанный авторами метод неразрушающего определения коэффициентов диффузии по динамике изменения поверхностной концентрации примеси. Начальное распределение и диффузионные профили для различных времен отжига определялись методом масс-спектроскопии вторичных ионов. Измерение относительной поверхностной концентрации азота проводилось методом Оже-электронной спектроскопии. Экспериментально обнаружено существование нескольких потоков примесных атомов в приповерхностной области ионно-легированного вольфрама. В предположении взаимодействующих потоков определены температурные зависимости коэффициентов диффузии азота в потоке, связанном с дислокациями, образовавшимися в результате ионной имплантации, и в потоке, связанном с объемным механизмом диффузии. Диффузия азота характеризуется довольно низкой величиной энергии активации: 0.15 и 0.75 eV по дислокационному и объемному механизмам соответственно. Один из авторов (А.Н.Ч.) благодарит за финансовую поддержку Фонд содействия отечественной науке и программу научных школ (грант НШ-2169.2003.2). PACS: 61.72.Ww, 66.30.Jt