Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2006-00-00 ОрганизацияВоронежский государственный технический университет, 394026 Воронеж, Россия E-mail: karl12@yandex.ru ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Кинетика формирования дискретных наноструктур впроцессе вакуумной конденсации из однокомпонентного пара

Иевлев В.М., Шведов Е.В.

Иевлев В.М., Шведов Е.В. Кинетика формирования дискретных наноструктур впроцессе вакуумной конденсации из однокомпонентного пара // ФТТ, 2006, том 48, выпуск 1, Стр. 133

Аннотация Методом численного решения системы кинетических уравнений исследуется кинетика кластерообразования в процессе вакуумной конденсации тонких пленок. Получены графики распределения по размерам кластеров от единиц до нескольких сотен атомов. В координатах температура-скорость конденсации определены области преимущественного зарождения на активных центрах --- точечных дефектах кристаллической подложки --- и статистического зарождения и показана возможность разделения областей псевдослоевого и трехмерного (шероховатого) роста. Показано, что причиной экспериментально наблюдаемой двухмодальности распределения островков по размерам может быть различие в скоростях роста кластеров на стадии, предшествующей коалесценции. Работа поддержана грантом Министерства образования и науки РФ \glqq Ведущие научно-педагогические коллективы\grqq. PACS: 68.03.Fg, 68.03.Hj