Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияНовгородский государственный университет, 173003 Новгород, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Эффекты зарядовой нестабильности в системе карбид кремния--диэлектрик

Карачинов В.А.

Карачинов В.А. Эффекты зарядовой нестабильности в системе карбид кремния--диэлектрик // ФТП, 1997, том 31, выпуск 1, Стр. 53

Аннотация Методами неразрушающего контроля по шумовым характеристикам, фольт-фарадных характеристик исследовано влияние лазерного излучения на электрическую прочность и характеристики границы раздела системы карбид кремния--диэлектрик. Выявлены эффекты управления фиксированным зарядом в слое диэлектрика и изменения распределения плотности поверхностных состояний. Обсуждаются возможные механизмы наблюдаемых явлений.