Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

О необычной "полосе" поглощения в инфракрасном спектре кремния, отжигающегося при высокой температуре с последующим быстрым охлаждением

Жданович Н.С.

Жданович Н.С. О необычной "полосе" поглощения в инфракрасном спектре кремния, отжигающегося при высокой температуре с последующим быстрым охлаждением // ФТП, 1997, том 31, выпуск 2, Стр. 183

Аннотация В инфракрасных спектрах поглощения полученного зонной плавкой кремния, подвергнутого циклической термообработке при 1250o C с быстрым охлаждением после каждого отжига и с частичным снятием термического окисла в каждом цикле, обнаружена необычная "полоса" поглощения с гигантской полушириной. Предложена модель, объясняющая наблюдаемые особенности спектра трансформацией в процессе термообработки нанопреципитатов примесей, содержащихся в исходном кремнии, и микроблочной структурой материала.