Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияИнститут радиотехники и электроники Российской академии наук, 141120 Фрязино, Московская область, Россия &#36;Физический факультет МГУ им. М.В.Ломоносова, 119899 Москва, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Пороговое влияние локального импульсного лазерного облучения наповерхностные состояния окисного слоя нареальной поверхности германия

Винценц С.В., Дмитриев С.Г., Захаров Р.А., Плотников Г.С.

Винценц С.В., Дмитриев С.Г., Захаров Р.А., Плотников Г.С. Пороговое влияние локального импульсного лазерного облучения наповерхностные состояния окисного слоя нареальной поверхности германия // ФТП, 1997, том 31, выпуск 5, Стр. 513

Аннотация Представлены результаты изучения изменений спектров поверхностных состояний на реальной (с тонкой пленкой окисла) поверхности германия при действии локального (10-100 мкм) импульсного (0.1-1 мкс) лазерного облучения с расчетным уровнем нагрева поверхности ~(20-40) K. Показано, что порогам пластических деформаций в приповерхностной области полупроводника (связанным с возникающими локальными термонапряжениями) соответствуют пороговые же изменения спектров оптического заряжения медленных поверхностных состояний диэлектрика, а пороговые изменения быстрых состояний при этом не наблюдаются. Обсуждается природа эффекта.