Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияМосковский государственный университет им. М.В.Ломоносова, 119899 Москва, Россия *Электротехническая Лаборатория, Цукуба, Япония ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Фотоакустическая спектроскопия пористого кремния

Образцов А.Н., Окуши Х., Ватанабе Х., Тимошенко В.Ю.

Образцов А.Н., Окуши Х., Ватанабе Х., Тимошенко В.Ю. Фотоакустическая спектроскопия пористого кремния // ФТП, 1997, том 31, выпуск 5, Стр. 629

Аннотация Представлены результаты исследования оптического поглощения в пленках пористого кремния в диапазоне 300/ 1500 нм с помощью фотоакустической спектроскопии. Обнаружено, что обусловленный пористым слоем край фундаментального поглощения для исследованных образцов находится в диапазоне от 350 до 500 нм. Из зависимости фотоакустического сигнала от частоты модуляции света определено, что теплопроводность пористого кремния составляет 0.25· 10-3 Вт/см·град.