Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияСаратовский государственный университет, 410071 Саратов, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Влияние радиационного воздействия на характеристики МДП структур с окислами редкоземельных элементов

Федоренко Я.Г., Отавина Л.А., Леденева Е.В., Свердлова А.М.

Федоренко Я.Г., Отавина Л.А., Леденева Е.В., Свердлова А.М. Влияние радиационного воздействия на характеристики МДП структур с окислами редкоземельных элементов // ФТП, 1997, том 31, выпуск 7, Стр. 885

Аннотация Приведены результаты исследований влияния gamma-облучения на электрофизические характеристики МДП структур с окислами редкоземельных элементов Y2O3, Dy2O3, Tb2O3, Gd2O3, Lu2O3. Рассмотрены статические характеристики (вольт-амперные, вольт-фарадные) и динамические (переходные характеристики, диаграммы колебательных режимов) структур до и после облучения дозой D=104/ 106 рад. Обнаружено, что доза облучения D=106 рад не приводит к существенной деградации характеристик структур. Наблюдаемые радиационные изменения исследуемых образцов не противоречат данным, известным для МДП структур с SiO2 в качестве диэлектрика.