Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияФизический институт им. П.Н.Лебедева Российской академии наук, 117924 Москва, Россия * Институт общей физики Российской академии наук, 117924 Москва, Россия &#36; Московский государственный университет им. М.В.Ломоносова, Физический факультет, 119899 ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Радиационная стойкость пористого кремния

Ушаков В.В., Дравин В.А., Мельник Н.Н., Караванский В.А., Константинова Е.А., Тимошенко В.Ю.

Ушаков В.В., Дравин В.А., Мельник Н.Н., Караванский В.А., Константинова Е.А., Тимошенко В.Ю. Радиационная стойкость пористого кремния // ФТП, 1997, том 31, выпуск 9, Стр. 1126

Аннотация Исследовано влияние радиационного воздействия ионов Ar+ с энергией 300кэВ и дозами 5· 1014/ 1· 1016 см-2 на свойства пористого кремния, полученного электрохимическим способом. На основе данных рамановского рассеяния света и фотолюминесценции показано, что радиационная стойкость слоев пористого кремния существенно выше, чем для монокристаллического кремния.