Профиль » Публикация
Опубликовано
1997-00-00
ОрганизацияИнститут физики Академии наук Белоруссии, 220072 Минск, Белоруссия *Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, 220027 Минск, Белоруссия
ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"
Спектры фотолюминесценции и фотовозбуждения пористого кремния, подвергнутого анодному окислению и травлению
Филиппов В.В., Бондаренко В.П., Першукевич П.П. Спектры фотолюминесценции и фотовозбуждения пористого кремния, подвергнутого анодному окислению и травлению // ФТП, 1997, том 31, выпуск 9, Стр. 1135
Аннотация
Исследованы спектры фотолюминесценции и фотовозбуждения пленок пористого кремния исходной пористости 50--60%, приготовленных на монокристаллах кремния p-типа проводимости и подвергнутых анодному окислению и химическому травлению. Установлено, что присутствующая в травленном пористом кремнии аморфная фаза не проявляется в спектрах фотовозбуждения, но оказывает влияние на спектр фотолюминесценции пористого кремния. Показано, что особенности спектров фотовозбуждения до и после травления, а также эволюция спектров фотолюминесценции и фотовозбуждения после травления могут быть интерпретированы в рамках модели равномерного квантования, в которой учитываются упругие напряжения в кремниевых кристаллах пористого кремния.
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален