Профиль » Публикация
Опубликовано
1998-00-00
Организация* Акционерное общество закрытого типа "Светлана--Полупроводники", 191156 Санкт-Петербург, Россия Воронежский государственный педагогический университет, 394043 Воронеж, Россия
ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"
Неравновесная сегрегация фосфора в системе диоксид кремния--кремний
Александров О.В., Афонин Н.Н. Неравновесная сегрегация фосфора в системе диоксид кремния--кремний // ФТП, 1998, том 32, выпуск 1, Стр. 19
Аннотация
Разработана модель диффузионно-сегрегационного перераспределения примеси в системе SiO2--Si при термическом окислении кремния, учитывающая неравновесный характер сегрегации на движущейся межфазной границе. Путем численного анализа эксперименатльных данных определены величина и температурная зависимость коэффициента массопереноса фосфора на межфазной границе SiO2--Si.
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален