Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1998-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Диффузионное насыщение примесью олова нелегированного аморфного гидрированного кремния

Куликов Г.С., Ходжаев К.Х.

Куликов Г.С., Ходжаев К.Х. Диффузионное насыщение примесью олова нелегированного аморфного гидрированного кремния // ФТП, 1998, том 32, выпуск 2, Стр. 135

Аннотация Методом диффузионного насыщения радиоактивным изотопом 119mSn пленок нелегированного аморфного гидрированного кремния определена растворимость олова в этом материале. Температурная зависимость растворимости олова описывается соотношением S [см-3]=4·1022exp(-0.46/kT [эВ]).