Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1998-00-00 ОрганизацияМосковский государственный университет им.М.В.Ломоносова, Физический факультет, 119899 Москва, Россия *Институт редкометаллической промышленности (Гиредмет), 109017 Москва, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Особенности оптических спектров аморфного гидрированного кремния, легированного бором, винфракрасной области спектра

Курова И.А., Белогорохова Л.И., Белогорохов А.И.

Курова И.А., Белогорохова Л.И., Белогорохов А.И. Особенности оптических спектров аморфного гидрированного кремния, легированного бором, винфракрасной области спектра // ФТП, 1998, том 32, выпуск 5, Стр. 631

Аннотация В оптических спектрах исследованных пленок a-Si : H(B) обнаружены колебательные моды на волновых числах 1879 и 1848 см-1, ранее неблюдавшиеся только в спектрах кристаллического диборана. Это указывает на образование в аморфной сетке комплексов и связей, подобных имеющимся в диборане, в частности, мостикового водорода. Изменение амплитуд обнаруженных мод после отжига пленок связывается со структурными перестройками, приводящими к уменьшению концентрации слабо связанного мостикового водорода и увеличению концентрации четырехкоординированного бора. Это объясняет обнаруженное ранее увеличение проводимости отожженных пленок.