Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1998-00-00 ОрганизацияНижегородский государственный университет им.Н.И.Лобачевского 603600 Нижний Новгород, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Влияние условий получения иотжига наоптические свойства аморфного кремния

Машин А.И., Ершов А.В., Хохлов Д.А.

Машин А.И., Ершов А.В., Хохлов Д.А. Влияние условий получения иотжига наоптические свойства аморфного кремния // ФТП, 1998, том 32, выпуск 7, Стр. 879

Аннотация Представлены спектральные характеристики показателя преломления и коэффициента экстинкции в диапазоне 0.6/2.0 эВ пленок аморфного кремния, полученных электронно-лучевым испарением при вариации температуры подложки, скорости напыления и температуры отжига на воздухе. Полученные результаты обсуждаются на основе изменений энергетической зоны Пенна в зависимости от указанных условий получения и обработки.