Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1999-00-00 ОрганизацияВсероссийский научный центр "Государственный оптический институт им. С.И.Вавилова", 199034 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Поглощение и ширина оптической щели пленок a-С : H, полученных изацетиленовой плазмы

Коншина Е.А.

Коншина Е.А. Поглощение и ширина оптической щели пленок a-С : H, полученных изацетиленовой плазмы // ФТП, 1999, том 33, выпуск 4, Стр. 469

Аннотация Пленки аморфного гидрогенизированного углерода (a-C : H) были приготовлены методом химического осаждения паров с использованием тлеющего разряда на постоянном токе. Проанализированы зависимости коэффициента поглощения в интервале длин волн 400/ 2400 нм. Выделены две гауссовоподобные полосы с максимумами ~600 и ~800 нм. Показано, что отношение интегральных интенсивностей (I600/I800) этих полос уменьшается при увеличении напряжения. Сделано сравнение изменений отношения I600/I800 и вариации основных полос в спектрах комбинационного рассеяния для выяснения природы поглощения пленок a-C : H в видимом диапазоне спектра. Для объяснения соотношения между структурой края поглощения и шириной щели Тауца (ET) предложены две простые схемы для прозрачных изолирующих пленок с ET<= 1.5 эВ и "черных" проводящих пленок a-C : H с ET=< 1 эВ.