Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 ОрганизацияКиевский университет им. Тараса Шевченко (Физический факультет),252022 Киев, Украина ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Образование поверхностного упрочненного слоя вбездислокационном кремнии при ультразвуковой обработке

Островский И.В., Стебленко Л.П., Надточий А.Б.

Островский И.В., Стебленко Л.П., Надточий А.Б. Образование поверхностного упрочненного слоя вбездислокационном кремнии при ультразвуковой обработке // ФТП, 2000, том 34, выпуск 3, Стр. 257

Аннотация Изучено влияние ультразвуковой обработки на микропластические свойства приповерхностной области бездислокационного кремния. Исследования проводились на искусственно введенных дислокационных розетках. Использовался кремний p-типа с ориентацией поверхности[111]. Обнаружено, что ультразвуковая обработка приводит к образованию приповерхностного упрочненного слоя толщиной до 100 мкм и выходу на поверхность скоплений точечных дефектов типа вакансионных и вакансионно-примесных кластеров. Обсуждается возможный механизм наблюдаемых явлений.