Профиль » Публикация

Аннотация Обсуждается кинетика релаксации термоиндуцированных и фотоиндуцированных метастабильных состояний, обусловливающих повышение темновой проводимости пленок a-Si : H<P>. Установлено, что релаксация описывается функциями типа растянутой экспоненты с параметрами tau и beta, различно зависящими от температуры для фото- и термоиндуцированных состояний. Так, релаксация фотоиндуцированных состояний характеризуется уменьшением beta с температурой, для термоиндуцированных состояний параметр beta практически постоянен. Показано, что эти различные температурные зависимости beta коррелируют с температурными изменениями полуширины распределений по энергиям отжига этих состояний. Установленные особенности релаксации фото- и термоиндуцированных метастабильных состояний обусловлены разными механизмами их образования. Природа их может быть одна и связана с активацией пассивированных водородом атомов фосфора.