Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 ОрганизацияМосковский государственный университет им.М.В.Ломоносова, 119899 Москва, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Модификация оптоэлектронных свойств пористого кремния, приготовленного в электролите на основе тяжелой воды

Каменев Б.В, Константинова Е.А., Кашкаров П.К., Тимошенко В.Ю.

Каменев Б.В, Константинова Е.А., Кашкаров П.К., Тимошенко В.Ю. Модификация оптоэлектронных свойств пористого кремния, приготовленного в электролите на основе тяжелой воды // ФТП, 2000, том 34, выпуск 6, Стр. 753

Аннотация Методами инфракрасной спектроскопии, электронного парамагнитного резонанса и фотолюминесценции исследованы слои пористого кремния, сформированные посредством электрохимической обработки Si в растворе HF : D2O. В отличие от образцов, приготовленных в обычном электролите (HF : H2O), обнаружено монотонное увеличение интенсивности фотолюминесценции в процессе естественного окисления образца при сохранении водородного покрытия поверхности кремниевого скелета. Предложен механизм аномального окисления слоев пористого кремния, полученного в смеси HF и тяжелой воды.