Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияКиевский университет им.Тараса Шевченко (Физический факультет), 02022 Киев, Украина ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Кинетика образования кислородсодержащих термодоноров вкремнии иформирования ихнеоднородного распределения: аналитическое решение

Селищев П.А.

Селищев П.А. Кинетика образования кислородсодержащих термодоноров вкремнии иформирования ихнеоднородного распределения: аналитическое решение // ФТП, 2001, том 35, выпуск 1, Стр. 11

Аннотация Рассматривается кинетика образования кислородсодержащих термодоноров в кремнии, когда атомарно-растворенный кислород интенсивно образует связанные состояния (комплексы). Получено аналитическое нестационарное однородное решение соответствующих нелинейных уравнений кинетики. Показано, что благодаря взаимодействию атомов кислорода однородное распределение их и их комплексов для определенных параметров задачи становится неустойчивым и развивается пространственно-периодическое распределение с периодом в диапазоне 10-1000 Angstrem.