Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Эффект усиления контраста передачи изображения при взаимодействии ультрафиолетового излучения с пленками неорганических фоторезистов

Калитеевская Н.А., Сейсян Р.П.

Калитеевская Н.А., Сейсян Р.П. Эффект усиления контраста передачи изображения при взаимодействии ультрафиолетового излучения с пленками неорганических фоторезистов // ФТП, 2001, том 35, выпуск 2, Стр. 233

Аннотация Теоретически исследовано фотохимическое преобразование тонких пленок неорганических фоторезистов под действием ультрафиолетового излучения эксимерного лазера. Показано, что, оптимизировав интенсивность излучения и дозу облучения, можно достичь сужения переходной области между засвеченными и незасвеченными участками, что приводит к улучшению качества изображения при фотолитографии.