Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия * Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, 198103 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Исследование морфологии поверхности пленок аморфного гидрогенизированного углерода, модифицированного медью

Звонарева Т.К., Иванов-Омский В.И., Ястребов С.Г., Голубок А.О., Горбенко О.М., Розанов В.В.

Звонарева Т.К., Иванов-Омский В.И., Ястребов С.Г., Голубок А.О., Горбенко О.М., Розанов В.В. Исследование морфологии поверхности пленок аморфного гидрогенизированного углерода, модифицированного медью // ФТП, 2001, том 35, выпуск 2, Стр. 237

Аннотация Сообщается об исследовании методом сканирующей туннельной микроскопии морфологии поверхности слоев аморфного гидрогенизированного (гидрированного) углерода, модифицированного медью, a-C : H(Cu). Описывается алгоритм математической обработки изображений и построения функции распределения продольной составляющей рельефа поверхности по размерам. Пленки a-C : H(Cu) наносились методом магнетронного сораспыления графита и меди на подложки двух типов: n-Si (100) с сильно легированным поверхностным слоем иSi с нанесенным слоемCr. Обнаружена мезоскопическая структура поверхности кристаллического кремния, хромового слоя и пленки a-C : H(Cu). Рассмотрена корреляция элементов структуры подложек и пленки. Делается вывод о формировании гранул с характерными размерами6--8 нм, присущими собственно пленке.