Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:
Опубликовать в блог:
Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияКазанский физико-технический институт Российской академии наук, 420029 Казань, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"


Влияние бомбардировки ионами углерода нананоструктуру алмазоподобных пленок
Файзрахманов И.А., Базаров В.В., Жихарев В.А., Хайбуллин И.Б.
Файзрахманов И.А., Базаров В.В., Жихарев В.А., Хайбуллин И.Б. Влияние бомбардировки ионами углерода нананоструктуру алмазоподобных пленок // ФТП, 2001, том 35, выпуск 5, Стр. 612
Аннотация Исследовано влияние облучения легкими ионами углерода на нанокластерную структуру алмазоподобных пленок углерода. Установлено, что электронные свойства (оптическое поглощение, электропроводность при низких температурах) пленок проявляют сильную дозовую зависимость, что является следствием квантово-размерного эффекта. Изменения оптической щели и энергии активации прыжковой проводимости свидетельствуют о росте размеров pi-кластеров, тогда как их концентрация остается постоянной во всем интервале доз облучения 3· 1014-1.2· 1017 см-2. Процесс дефектообразования в кластерах сдвинут в сторону более высоких доз облучения по сравнению с однородными по структуре материалами. Проведены оценки оптического поглощения pi-кластеров, их концентрации в образцах, параметров туннелирования для исходных и полностью "графитизированных" пленок, толщины барьерного слоя между кластерами, определена ширина зоны дефектных состояний. Показано, что известная зависимость оптической ширины pi-кластеров от их размера должна быть модифицирована в случае больших кластеров (Eg=<q 1 эВ).

Комментарии

Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален