Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияВоронежский государственный университет, 394693 Воронеж, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Адсорбционно-емкостная порометрия

Тутов Е.А., Андрюков А.Ю., Бормонтов Е.Н

Тутов Е.А., Андрюков А.Ю., Бормонтов Е.Н Адсорбционно-емкостная порометрия // ФТП, 2001, том 35, выпуск 7, Стр. 850

Аннотация Показано, что зависимость емкости структуры Al/por-Si/Si от относительной влажности представляет собой изотерму физической адсорбции. Анализ этой зависимости позволяет определить общую пористость, эффективную долю оксидной фазы вpor-Si и соотношение объемов микропор, моно- и полимолекулярная адсорбция воды в которых приводит к их объемному заполнению, а также мезопор, заполняющихся по механизму капиллярной конденсации. Для последних получено распределение пор по размерам.