Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияИнститут физики полупроводников Национальной академии наук Украины, 03028 Киев, Украина ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Взаимосвязь морфологии пористого кремния сособенностями спектров комбинационного рассеяния света

Булах Б.М., Джумаев Б.Р., Корсунская Н.Е., Литвин О.С., Торчинская Т.В., Хоменкова Л.Ю., Юхимчук В.А.

Булах Б.М., Джумаев Б.Р., Корсунская Н.Е., Литвин О.С., Торчинская Т.В., Хоменкова Л.Ю., Юхимчук В.А. Взаимосвязь морфологии пористого кремния сособенностями спектров комбинационного рассеяния света // ФТП, 2002, том 36, выпуск 5, Стр. 587

Аннотация Исследованы структурные характеристики и спектры комбинационного рассеяния света слоев пористого кремния. Показано, что эффект усиления интенсивности сигнала рамановского рассеяния от пористого кремния по сравнению с интенсивностью сигнала от подложки связан с присутствием в образцах пор микронных размеров. Предложена модель, позволяющая объяснить это усиление и форму сигнала, в том числе совпадение сигнала от пористого слоя по форме и положению с линией от кремниевой подложки.