Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия * Санкт-Петербургский институт ядерной физики им.Б.П.Константинова Российской академии наук, 188850 Гатчина, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Получение исвойства пленок аморфного гидрогенизированного карбида бора

Ананьев А.С., Коньков О.И., Лебедев В.М., Новохацкий А.Н., Теруков Е.И., Трапезникова И.Н.

Ананьев А.С., Коньков О.И., Лебедев В.М., Новохацкий А.Н., Теруков Е.И., Трапезникова И.Н. Получение исвойства пленок аморфного гидрогенизированного карбида бора // ФТП, 2002, том 36, выпуск 8, Стр. 1006

Аннотация Пленки карбида бора получены разложением в плазме высокочастотного тлеющего разряда продуктов сублимации порошка C2B10H12. Состав пленок исследовался с помощью методов ядерных реакций и инфракрасной спектроскопии. Показано, что состав пленок слабо изменялся в зависимости от типа рабочего газа (Ar,He) и температуры подложки (20-100oC) и определялся формулой a-B0.52C0.48 : H. Оптическая ширина запрещенной зоны составляла ~3.8 эВ, удельное сопротивление изменялось от 106 до 105 Ом · см с возрастанием температуры подложки. Наличие слабой фотолюминесценции с максимумом в области 475 нм свидетельствует о наличии акцепторного уровня в запрещенной зоне, что коррелирует с величиной энергии активации проводимости.