Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияНижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 603600 Нижний Новгород, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Изменения свойств ионно-синтезированной гетеросистемы SixNy--Si врезультате термических иионно-лучевых обработок

Карзанов В.В., Марков К.А., Сдобняков В.В., Демидов Е.С.

Карзанов В.В., Марков К.А., Сдобняков В.В., Демидов Е.С. Изменения свойств ионно-синтезированной гетеросистемы SixNy--Si врезультате термических иионно-лучевых обработок // ФТП, 2002, том 36, выпуск 9, Стр. 1060

Аннотация Методами просвечивающей электронной микроскопии, инфракрасной спектроскопии, регистрации вольт-амперных характеристик и емкостных измерений исследовалось влияние термообработки и дальнодействующее влияние облучения обратной стороны пластины Si ионами аргона, неона икремния на состояние слоя SixNy, синтезированного на лицевой стороне. Установлено, что наиболее эффективным для формирования изолирующих слоев нитрида кремния является ионная бомбардировка аргоном сподогревом мишени до 500oC. Отсутствие заметного влияния облучения ионами неона и кремния согласуется с ранее предложенной моделью спонтанно-акустического механизма дальнодействия при облучении кремния аргоном.