Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Исследование деформаций идефектов кристаллической решетки, возникающих при окислении макропористого кремния

Астрова Е.В., Ратников В.В., Ременюк А.Д., Шульпина И.Л.

Астрова Е.В., Ратников В.В., Ременюк А.Д., Шульпина И.Л. Исследование деформаций идефектов кристаллической решетки, возникающих при окислении макропористого кремния // ФТП, 2002, том 36, выпуск 9, Стр. 1111

Аннотация Исследованы закономерности деформации пластин макропористого кремния в результате высокотемпературного окисления и определены основные параметры, влияющие на их изгиб и последующую релаксацию напряжений при удалении окисла. Методами рентгеновской дифрактометрии и топографии проведены измерения радиуса кривизны и параметра решетки, выявлены области генерации дислокаций. Величина деформации кремниевой решетки составляет ~ 10-4 в окисленном макропористом кремнии и уменьшается на порядок после растворения окисла. Пластическая часть деформации сопровождается генерацией дислокаций в наиболее напряженных областях структуры, т. е. на границе между пористым слоем и подложкой в вертикальном направлении и между центральной пористой областью и кромкой в горизонтальной плоскости. Их концентрация составляет ~ 104 см-2.