Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2003-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Прозрачность макропористого кремния сосквозными каналами

Астрова Е.В., Коровин Л.И., Ланг И.Г., Ременюк А.Д., Шуман В.Б.

Астрова Е.В., Коровин Л.И., Ланг И.Г., Ременюк А.Д., Шуман В.Б. Прозрачность макропористого кремния сосквозными каналами // ФТП, 2003, том 37, выпуск 1, Стр. 57

Аннотация Выполнено экспериментальное и теоретическое исследование спектра пропускания макропористого кремния со сквозными каналами вобласти длин волн от 0.3 до 0.8 мкм, в которой монокристаллический кремний непрозрачен. Для теоретической интерпретации спектров привлечена общая теория дифракции. Получены выражения, учитывающие дифракцию на входе и выходе из пор, а также влияние отклонения угла падения света от нормального. Показано, что спектр пропускания достаточно хорошо описывается результатами расчета.