Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2003-00-00 ОрганизацияИнститут физики полупроводников Национальной академии нaук Украины, 03028 Киев, Украина ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Влияние водородной плазмы на спектр электроотражения испектр электронных состояний пористого кремния

Венгер Е.Ф., Голиней Р.Ю., Матвеева Л.А., Васин А.В.

Венгер Е.Ф., Голиней Р.Ю., Матвеева Л.А., Васин А.В. Влияние водородной плазмы на спектр электроотражения испектр электронных состояний пористого кремния // ФТП, 2003, том 37, выпуск 1, Стр. 104

Аннотация Методом модуляционной спектроскопии электроотражения исследовались образцы пористого кремния. Показано наличие мини-зон, ответственных за существование фотолюминесцентных полос (красная, зеленая и голубая). Установлено исчезновение мини-зоны, отвечающей за полосу вголубой области спектра, при обработке поверхности пористого кремния вH+-плазме. Пассивация поверхности водородом также приводит крелаксации механических напряжений, как впористой пленке, так и вкремниевой подложке. Установлена природа электронных состояний взапрещенной зоне кремниевых нанокристаллитов.