Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2003-00-00 ОрганизацияФизический институт им.П.Н.Лебедева Российской академии наук, 119991 Москва, Россия * Институт радиотехники и электроники Российской академии наук, 141190 Фрязино, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Слоистое строение пленок Zn1-xCdxSe, выращенных газофазной эпитаксией изметаллорганических соединений наподложках Cd0.92Zn0.08S(0001)

Мартовицкий В.П., Козловский В.И., Кузнецов П.И., Скасырский Я.К., Якущева Г.Г.

Мартовицкий В.П., Козловский В.И., Кузнецов П.И., Скасырский Я.К., Якущева Г.Г. Слоистое строение пленок Zn1-xCdxSe, выращенных газофазной эпитаксией изметаллорганических соединений наподложках Cd0.92Zn0.08S(0001) // ФТП, 2003, том 37, выпуск 3, Стр. 310

Аннотация Рентгенодифрактометрическим методом изучены структурные особенности пленок Zn1-xCdxSe, выращенных парофазной эпитаксией из металлорганических соединений на подложке Cd0.92Zn0.08S (0001). Как для кубической, так и для гексагональной фаз подобраны асимметричные рефлексы, позволяющие не только надежно определять их присутствие в пленке, но и оценивать размер областей когерентного рассеяния рентгеновских лучей и(или) колебания параметров решетки в плоскости срастания. Пленки ZnSe преимущественно состоят из сдвойникованных прослоек кубической фазы толщиной 200--250 Angstrem с небольшим содержанием гексагональной фазы. Впленках CdS, напротив, преобладает гексагональная фаза с небольшим числом прослоек кубической фазы. Толщина прослоек кубической фазы в Zn1-xCdxSe уменьшается, а концентрация гексагональной фазы растет при небольших значениях x с примерно равным развитием обеих фаз при x=0.15-0.20.