Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2003-00-00 ОрганизацияБелорусский государственный университет, 220050 Минск, Белоруссия * Институт физики твердого тела и полупроводников Белорусской академии наук, 220072 Минск, Белоруссия &#36; Объединенный институт ядерных исследований, 141980 Дубна, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Обнаружение примеси водорода вкремниевых детекторах излучения

Макаренко Л.Ф., Коршунов Ф.П., Ластовский С.Б., Замятин Н.И.

Макаренко Л.Ф., Коршунов Ф.П., Ластовский С.Б., Замятин Н.И. Обнаружение примеси водорода вкремниевых детекторах излучения // ФТП, 2003, том 37, выпуск 5, Стр. 629

Аннотация Исследовано поведение кремниевых детекторов частиц, облученных электронами с энергией 2.5 МэВ, при отжиге. Обнаружено, что отжиг при 100-250oC приводит к образованию двух ловушек с уровнями Ec-0.32 эВ и Ev+0.29 эВ. При повышении температуры отжига до 300oC обе ловушки исчезают. Наосновании полученных данных сделан вывод о том, что обнаруженные ловушки связаны с водородосодержащими комплексами. Результатом наличия водорода в кристалле явилось понижение температуры отжига комплексов вакансия--кислород (VO) и <межузельный углерод>--<межузельный кислород>(CiOi). Причина этого эффекта связана с пассивацией этих комплексов водородом, с образованием электрически активного центра VOH (уровень Ec-0.32 эВ) на одной из промежуточных стадий этого процесса. Предполагается, что водород попал в исследованные структуры во время одной из технологических операций их изготовления.