Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2003-00-00 ОрганизацияCанкт-Петербургский государственный технологический институт, 198013 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Влияние резко неравновесных условий настехиометрию состава слоя теллурида кадмия, конденсируемого из паровой фазы

Беляев А.П., Рубец В.П., Нуждин М.Ю., Калинкин И.П.

Беляев А.П., Рубец В.П., Нуждин М.Ю., Калинкин И.П. Влияние резко неравновесных условий настехиометрию состава слоя теллурида кадмия, конденсируемого из паровой фазы // ФТП, 2003, том 37, выпуск 6, Стр. 641

Аннотация Сообщается орезультатах сравнительных исследований стехиометрии состава эпитаксиальных пленок теллурида кадмия, синтезированных из паровой фазы вравновесных и резко неравновесных условиях (на охлажденных подложках). Приводятся данные микрорентгеноструктурного и атомно-абсорбционного анализа пленок и паровой фазы. Выявлено повышение стехиометричности состава при понижении температуры подложки. Показано, что наиболее совершенную кристаллическую структуру имеют пленки, синтезированные врезко неравновесных условиях.