Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2003-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук,194021 Санкт-Петербург, Россия * Барселонский институт материаловедения, ЦСИС 08193 Беллатерра, Испания ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Спектральная эллипсометрия аморфного гидрогенизированного углерода, выращенного при магнетронном распылении графита

Ястребов С.Г., Гаррига М., Алонсо М.И., Иванов-Омский В.И.

Ястребов С.Г., Гаррига М., Алонсо М.И., Иванов-Омский В.И. Спектральная эллипсометрия аморфного гидрогенизированного углерода, выращенного при магнетронном распылении графита // ФТП, 2003, том 37, выпуск 10, Стр. 1241

Аннотация Методами спектральной эллипсометрии (винтервале энергий фотонов1--5 эВ) измерены поляризационные углы для пленок аморфного гидрогенизированного углерода, полученного магнетронным распылением графита ватмосфере аргоно-водородной плазмы. Восстановлена дисперсия мнимой идействительной частей диэлектрической функции. Показано, что висследуемой области частот полученные данные совместимы сформализмом Крамерса--Кронига. Использование правила сумм позволило сделать вывод онеоднородном распределении плотности состояний поэнергиям ивыявить характерные пороговые энергии в спектре эффективной плотности состояний--- 2 и3.8 эВ. Показана возможность описания энергетического спектра электронов спомощью гауссианов. Распределение состояний поэнергиям связывается свкладом sigma- иpi-состояний.