Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2004-00-00 ОрганизацияЧерновицкий национальный университет им. Ю.Федьковича (физический факультет), 58012 Черновцы, Украина * Киевский национальный университет им.Т.Шевченко (радиофизический факультет), 01017 Киев, Украина ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Исследование физических механизмов лазерной коррекции и стабилизации параметров структур Al-n-n+-Si-Al сбарьером Шоттки

Воробец Г.И., Воробец М.М., Стребежев В.Н., Бузанeва Е.В., Шкавро А.Г.

Воробец Г.И., Воробец М.М., Стребежев В.Н., Бузанeва Е.В., Шкавро А.Г. Исследование физических механизмов лазерной коррекции и стабилизации параметров структур Al-n-n+-Si-Al сбарьером Шоттки // ФТП, 2004, том 38, выпуск 6, Стр. 690

Аннотация Методами оптической и растровой электронной микроскопии всочетании спослойным химическим травлением исследованы физические процессы твердофазной диффузии всформированных на свободной поверхности кремния и вокнахSiO2 бескорпусных тонкопленочных структурах Al-n-n+-Si-Al сбарьером Шоттки при импульсном лазерном облучении.