Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2004-00-00 ОрганизацияНациональный университет Узбекистана, 700174 Ташкент, Узбекистан ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Влияние gamma -облучения нахарактеристики границы раздела кремний--свинцово-боросиликатное стекло

Парчинский П.Б., Власов С.И., Насиров А.А.

Парчинский П.Б., Власов С.И., Насиров А.А. Влияние gamma -облучения нахарактеристики границы раздела кремний--свинцово-боросиликатное стекло // ФТП, 2004, том 38, выпуск 11, Стр. 1345

Аннотация Исследовано влияние gamma-облучения на величину плотности поверхностных состояний на границе раздела кремний--свинцово-боросиликатное стекло. Установлено, что при дозах облучения, больших чем 106 рад, наблюдается возникновение локального максимума поверхностных состояний при энергии E=Ec-(0.32±0.04) эВ. Показано, что граница раздела Si--свинцово-боросиликатное стекло характеризуется меньшей чувствительностью к воздействию gamma-облучения по сравнению с границей раздела Si--SiO2, полученной термическим окислением поверхности кремния.