Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2005-00-00 ОрганизацияИнститут физики микроструктур Российской академии наук, 603950 Нижний Новгород, Россия * Завод синтетических корундов &#92;glqq Монокристалл&#92;grqq, 355044 Ставрополь, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Влияние параметров сапфировых подложек на кристаллическое качество слоевGaN

Дроздов Ю.Н., Востоков Н.В., Гапонова Д.М., Данильцев В.М., Дроздов М.Н., Хрыкин О.И., Филимонов А.С., Шашкин В.И.

Дроздов Ю.Н., Востоков Н.В., Гапонова Д.М., Данильцев В.М., Дроздов М.Н., Хрыкин О.И., Филимонов А.С., Шашкин В.И. Влияние параметров сапфировых подложек на кристаллическое качество слоевGaN // ФТП, 2005, том 39, выпуск 1, Стр. 5

Аннотация Исследовано влияние некоторых видов обработки сапфировой подложки на свойства слоев нитрида галлия, полученных методом металлорганической газофазной эпитаксии.