Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2005-00-00 ОрганизацияВоронежский государственный университет, 394006 Воронеж, Россия * Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Исследование локальной электронной иатомной структуры ваморфных сплавах a-SixC1-x методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии

Терехов В.А., Теруков Е.И., Трапезникова И.Н., Кашкаров В.М., Курило О.В., Турищев С.Ю., Голоденко А.Б., Домашевская Э.П.

Терехов В.А., Теруков Е.И., Трапезникова И.Н., Кашкаров В.М., Курило О.В., Турищев С.Ю., Голоденко А.Б., Домашевская Э.П. Исследование локальной электронной иатомной структуры ваморфных сплавах a-SixC1-x методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии // ФТП, 2005, том 39, выпуск 7, Стр. 863

Аннотация С помощью методов рентгеновской спектроскопии получены данные о локальной электронной и атомной структуре сплавов a-SixC1-x : H<Er>, приготовленных в тлеющем разряде (PECVD) при различных соотношениях силана и метана в газовой смеси (x=0.3-0.9). Показано, что сплавы имеют в своем составе атомы кремния и углерода с различной координацией. Кремний наблюдается в виде элементарного аморфного кремния и карбида кремния, соотношение этих фаз в пленках зависит от состава газовой смеси. Атомы углерода могут образовывать связи с кремнием в координации, близкой к таковой для кристаллического карбида кремния, с образованием также заметного количества связейC-H. Кроме того, углерод может формировать в пленке фазу элементарного углерода с различной координацией, свойственной графиту и алмазу.