Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2005-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Влияние эрбия и кислорода на интенсивность фотолюминесценции эрбия исостав пленок a-SiOx : H&lt; Er,O&gt;, полученных магнетронным распылением напостоянном токе

Ундалов Ю.К., Теруков Е.И., Гусев О.Б., Кудоярова В.Х.

Ундалов Ю.К., Теруков Е.И., Гусев О.Б., Кудоярова В.Х. Влияние эрбия и кислорода на интенсивность фотолюминесценции эрбия исостав пленок a-SiOx : H< Er,O>, полученных магнетронным распылением напостоянном токе // ФТП, 2005, том 39, выпуск 8, Стр. 979

Аннотация Изучалось влияние различных концентраций кислорода (CO2) в газовой смеси (20% SiH4+80% Ar)+O2 и площади эрбиевой мишени (SEr) на состав и фотолюминесцению Er3+ аморфных пленок a-SiOx : H<Er,O>, полученных магнетронным распылением на постоянном токе. Анализ экспериментальных данных показал, что кластеры [Er--O] и[Er--O--Si--O] формируются в газовой фазе плазмы с участием конкурирующих реакций окисления и процесса распыленияSi- иEr-мишеней, а также благодаря взаимодействию в газовой фазе ассоциатов [Si--O] и [Er--O] друг с другом и с кислородом. Разрыв зависимостей концентраций связанного с эрбием кислорода и эрбия в пленке, NOEr--O,NEr=f(CO2,SEr), при CO2~(5-6.5) мол% подтверждает гипотезу существования различных эрбиевых кластеров. Определены условия, при которых получаются пленки a-SiOx : H<Er,O> с наибольшей интенсивностью фотолюминесценции ионов эрбия на длине волны1.54 мкм.