Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2005-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия * Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, 195256 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Взаимодействие фуллерена смонокристаллическим кремнием

Сресели О.М., Захарова И.Б., Вуль С.П., Макарова Т.Л., Шаронова Л.В., Беляков Л.В., Горячев Д.Н.

Сресели О.М., Захарова И.Б., Вуль С.П., Макарова Т.Л., Шаронова Л.В., Беляков Л.В., Горячев Д.Н. Взаимодействие фуллерена смонокристаллическим кремнием // ФТП, 2005, том 39, выпуск 8, Стр. 1017

Аннотация Исследовались оптические свойства слоев фуллерена C60 на кремниевой подложке до и после восстанавливающего отжига при 900-1050oC в атмосфере водорода с целью обнаружить образование кластеров карбида кремния. На основании спектров комбинационного рассеяния, инфракрасного поглощения, время-разрешенной фотолюминесценции и эллипсометрических измерений показано, что в пределах чувствительности использованных методик кластерыSiC не обнаружены. Слой после отжига представляет собой пористую наводороженную пленку разупорядоченного графита, возможно с небольшим количеством молекул фуллерена.