Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2006-00-00 ОрганизацияСанкт-Петербургский государственный электротехнический университет &#92;glqq ЛЭТИ&#92;grqq, 197376 Санкт-Петербург, Россия * Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Моделирование диффузии алюминия вкремнии винертной иокислительной средах

Александров О.В., Криворучко А.А., Соболев Н.А.

Александров О.В., Криворучко А.А., Соболев Н.А. Моделирование диффузии алюминия вкремнии винертной иокислительной средах // ФТП, 2006, том 40, выпуск 4, Стр. 385

Аннотация Показано, что накопление примесиAl вблизи поверхности кремния, наблюдающееся при диффузии из поверхностного источника в инертной среде, не может быть объяснено в рамках обычного для примесей замещения непрямого вакансионно-межузельного (vacancy-interstitialcy) механизма. Особенности диффузииAl как в инертной, так и в окислительной среде удовлетворительно описываются в рамках механизма вытеснения (kick-out), характерного для примесей быстро диффундирующих металлов в кремнии. PACS: 68.35.Fx, 68.35.Dv