Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2006-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия * CEM2, Universite de MontpellierII, 34095 Montpellier, France + Wihuri Physical Laboratory, Turku University, FIN 20014 Turku, Finland ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Формирование естественного окисла назеркалах лазерных гетероструктур в системе GaSb/GaInAsSb/GaAlAsSb вместах выхода слоев свысоким содержаниемAl

Дементьев П.А., Дунаевский М.С., Макаренко И.В., Петров В.Н., Титков А.Н., Baranov A.N., Yarekha D.A., Laiho R.

Дементьев П.А., Дунаевский М.С., Макаренко И.В., Петров В.Н., Титков А.Н., Baranov A.N., Yarekha D.A., Laiho R. Формирование естественного окисла назеркалах лазерных гетероструктур в системе GaSb/GaInAsSb/GaAlAsSb вместах выхода слоев свысоким содержаниемAl // ФТП, 2006, том 40, выпуск 11, Стр. 1281

Аннотация Исследовано развитие в атмосферных условиях естественного окисла на зеркалах лазерных гетероструктур GaSb/GaInAsSb/Ga0.1Al0.9As0.93Sb0.07 в местах выхода на поверхность зеркал слоев с высоким содержаниемAl. Сэтой целью методами сканирующей зондовой микроскопии изучалось изменение со временем топографии лазерных зеркал, полученных скалыванием гетероструктур в атмосферных условиях, а также в сверхвысоком вакууме. Было отслежено окисление слоев Ga0.1Al0.9As0.93Sb0.07 на поверхности зеркал на протяжении более года и показана длительность развития окисла в течение нескольких месяцев, однако с наступающим затем насыщением при толщине окисла на уровне одного микрона. Естественное окисление протекает с увеличением объема окисляемого слоя, что вызывает его возвышение над поверхностью лазерного зеркала примерно на треть полной толщины развивающегося окисла. Исследования в вакууме позволили исключить предполагавшееся ранее проявление здесь эффекта пластического вытягивания слоев с высоким содержаниемAl над поверхностью скола в момент скола. На начальной стадии окисления возвышение окисла над поверхностью имеет необычную вогнутую область в верхней части, исчезающую по мере развития окисла. Предложено объяснение наблюдаемой трансформации формы окисла, предполагающее изменение химического состава окисла по мере увеличения его толщины. PACS: 68.65.FG, 81.05.Ea, 81.65.Mq, 68.37.Ps