Artyem Barat » Публикация
Опубликовано
2009-08-29
Опубликовано на SciPeople2009-08-29 18:06:34
ЖурналЖТФ
Расчет спектров самораспыления тонких пленок методом дискретных потоков
Аннотация
Самораспыление плоскопараллельных слоев описано теоретически на основе совместного использования метода инвариантного погружения и метода дискретных потоков. Получены дифференциальные уравнения для функций прямого и обратного самораспыления, найдены их точные решения. Найденные энергетические распределения самораспыленных ионов и полные коэффициенты самораспыления сравниваются с результатами компьютерного эксперимента. Проанализированы зависимости полных коэффициентов самораспыления от толщины пленки и начальной энергии ионов.
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален