Сложные системы и процессы » Архив номеров » № 1(15), 2009 » Публикация
Опубликовано
2009-06-00
Опубликовано на SciPeople2009-11-12 12:54:51
ЖурналСложные системы и процессы
Экспериментально-статистические модели оценки степени неоднородности полупроводниковых материалов
Аннотация
Показано, что в условиях массовых измерений полупроводниковых материалов критерии оценки их степени неоднородности следует устанавливать на основе экспериментально-статистического подхода. Предложенная система критериев контроля примесных неоднородностей в полупроводниках позволяет управлять как процессом выращивания монокристаллов, так и параметрами соответствующих полупроводниковых приборов структур.
M15Lev.pdf
146,9 Kb
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален