Сложные системы и процессы » Архив номеров » № 1(13), 2008 » Публикация
Опубликовано
2009-11-23
Опубликовано на SciPeople2009-11-23 09:18:13
ЖурналСложные системы и процессы
Статистический анализ неоднородности толщины эпитаксиальных слоев кремниевых композиций
Аннотация
Построены и исследованы эмпирические функции распределения для показателей неоднород-ности толщины эпитаксиальных слоев в группе кремниевых композиций. Для изученных показа-телей они могут быть представлены в виде суммы двух нормально распределенных величин или как однородная нормально распределенная выборка.
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален