Профиль » Публикация
Опубликовано на SciPeople2010-05-24 15:01:29
Разработка и исследование ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОСНОВ ПРОЦЕССА фотонностимулированнОГО ЛОКАЛЬНОГО АНОДНОГО ОКИСЛЕНИЯ НАНОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ Si/SiO2/Ti
Смирнов В.А. Разработка и исследование ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОСНОВ ПРОЦЕССА фотонностимулированнОГО ЛОКАЛЬНОГО АНОДНОГО ОКИСЛЕНИЯ НАНОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ Si/SiO2/Ti: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01. - M, 2008.
Аннотация
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален